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扫描探针显微镜中的共振补偿
US12785840 2010-5-24 发明申请
2011-11-24
一种方法包括使用传感器产生数据信号。 所述数据信号包括基于致动器在第一方向上的运动的第一分量,所述致动器被配置为在所述第一方向上在样本和探头之间提供运动,所述第一方向基本上在所述样本的平面中; 以及基于所述样品在第二方向上的形貌变化和所述样品的材料性质中的至少一个的第二组分。 该方法还包括使用处理器基于由传感器产生的数据信号的第一分量产生补偿信号; 以及向致动器提供补偿信号。
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