| 电子显微镜，和用于电子显微镜的光轴调整方法 |
| WOJP11002302 2011-4-20 发明申请 |
| 2011-11-24 |
| 本发明公开了一种电子显微镜，其特征在于，所述的光学轴可以被自动调整，即使如果存在是一种光学轴移，与其中所述电子束不能被检查的位置在一个替换后的荧光板的一个电子源。在所述的电子显微镜，是否该电子束是辐射到所述荧光板或未被确定由所述荧光板中的一个电流测量。当所述电子束被不辐射，该电子束被移位，使得该电子束是辐射以所述荧光板通过控制偏转器，和当所述电子束是辐射，该偏转器被控制的这种使所述电流的大小是非常大，和使所述的从一个图像获得的亮度的幅度所述电子束照射到所述荧光板也非常大。 |
微信公众号