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扫描电子显微镜
WOJP11002605 2011-5-11 发明申请
2011-11-24
本发明公开了一种扫描电子显微镜,其抑制一个样品引起的漂移到所述的操作驱动电机用于一个样品台,或所述室中的温度变化。所述电流供给到所述一种样品移动时是相同的电机到所述电流供给到所述电机当所述样品停止,或所述的电流之间的差是20%或更小。因此,该变化在所述电动机是减少热量的量,和当所述样品漂移是降低所述样品被观察到。
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