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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

扫描电子显微镜

WOJP11002608 2011-5-11 发明申请

2011-11-24

本发明公开了一种扫描电子显微镜具有一个级驱动装置使用滚动摩擦，具有稳定的定位和增加定位精度。该扫描电子显微镜是提供与X表，一个Y表，Z表，一旋转台和一倾斜-表，和被进一步提供与样品台，其是由一脉冲电动机，其是移动连接，通过一个耦合的装置，以一种滚珠丝杠; 一滑动的摩擦元件被设置在一位置靠近所述滚珠丝杠，和两者之间的所述X表和所述Y表，和一倾斜-基和X表。