| 电子显微镜 |
| WOJP11061403 2011-5-18 发明申请 |
| 2011-11-24 |
| 本发明公开了一种电子显微镜，其中一个磁场浸没式冷-Fe的电子枪(1)包括 : 一冷阴极的场致发射电子源(101); 一磁透镜(120)位于该圆周的所述的电子源; 和吸气剂泵(16a，16b)，用于提高所述内部的真空度所述的电子枪。当该电子源是清洗(409)，所述电子清洗后的光学系统的该参数被返回到清洗之前，所述相同的值作为所述参数(410，404)。作为结果，该电子枪和电子显微镜可以提供具有高观察效率和所述焦所述的电子枪使用期间不变化的距离。 |
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