超声原子力显微镜装置
 
KR1020100045982  2010-5-17  发明申请

2011-11-23
 
  目的:提供一种超声原子力显微装置,通过光束-位移传感器精确测量悬臂位移。 构成:控制驱动单元(100)包括函数发生器(210)和锁定放大单元(220)。 函数发生器向悬臂施加谐振频率信号。 位移测量单元(200)包括悬臂云台单元(140)和悬臂驱动单元(120)。 悬臂云台单元测量悬臂的位移信息。 版权KIPO 2012
 
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