| 探针显微镜和摩擦滑动，CMP，和硬盘片检查装置包括所述相同 |
| JP2010102818 2010-4-28 发明申请 |
| 2011-11-17 |
| 要解决的问题 : 以允许测量，即使在该情况下，所述一种材料的重力的中心被用于检测偏离中心的一扁平弹簧或所述平板弹簧被变形。溶液 : 一扫描探针显微镜s1包括 : 一平板弹簧3具有一第一样品1安装在一前及其端; 一固定部件14固定该平板弹簧3的基端; 一个级15，其具有一第二样品2固定在其上; 一个光学系统18用于检测所述平板弹簧3的位移，其检测检测光反射的光辐射从一光源16到该平板弹簧3，由光检测器17; 一个样品间隔调整机构19移动的该级15或该平板弹簧3，以使所述第一和第二样品1和2靠近或远离每个其它; 一水平扫描机构20，其测量第一和第二之间的摩擦样品1和2; 和一个垂直扫描机构21，它测量至少一个的吸附，凝集，和第一之间的反应和第二样品1和2。所述扫描探针显微镜s1包括一旋转机构22用于旋转所述固定部件14，其改变倾斜该平板弹簧3的与其中一个检测的光的光学轴对齐R11，在一个任意的角度与相对于该级15。版权 : (C)2012，inpit |
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