| 方法用于光学位移检测机构对准的光点的位置和使用该相同的扫描探针显微镜 |
| JP2011170479 2011-8-3 发明申请 |
| 2011-11-10 |
| 要解决的问题 : 以提供一种方法用于对准的光点位置的一种光学位移检测机构使能容易和安全的对准所述的光从一个源与一待测物体或一个光一光电探测器的接收表面。溶液 : 在一种光学位移检测机构包括一光源10用于照射一悬臂6作为一个测量对象，一光源驱动电路21用于驱动所述光源10，一个光检测器16用于检测光强度通过接收所述的光的照射后该悬臂6从该光源10，和一个放大器22用于放大通过所述光电检测器16检测到的信号与一预定增益，所述光电检测器16所述的检测灵敏度是设定低于所述用于实际测量灵敏度一目标对象使用一个增益(放大因子)控制器，以对准一个光点20与一预定位置的所述光电检测器16使用一对准机构18用于该光检测器。版权 : (C)2012，inpit |
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