| 扫描电子显微镜和使用该相同的样品的观察方法 |
| JP2010097930 2010-4-21 发明申请 |
| 2011-11-10 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜具有优异的可用性，并且能够可靠地防止之间的接触一个样品到被观察和一个样品室中的一个结构如一物镜透镜。溶液 : 物体检测装置，用于检测该样品的存在\/不存在从一个的附近位置不接触到被观察到一个内所述所述扫描电子显微镜的样品室的壁被提供。当该被观察到的样品被引入到所述样品室，同时一个样品移动机构是自动在一水平和垂直方向移动通过样品移动机构控制装置，所述样品的高度要自动计算出的是观察到所述对象的所述的基础上检测由所述对象信息检测装置。当所述样品移动机构移动，根据移动指令从手动操作输入装置，所述移动量该样品的移动机构是限制该信息的基础上围绕所述计算该样品的高度以被观察到。版权 : (C)2012，inpit |
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