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带漂移补偿的扫描探针显微镜
US12773587 2010-5-4 发明申请
2011-11-10
扫描探针显微镜补偿其上部结构和下部结构之间的相对漂移,上部结构包括探针和以直线扫描探针的扫描器,下部结构包括样品台和以平面扫描样品台的扫描器。 来自上部结构的光束最初与设置在下部结构上的位置敏感光检测器(PSPD)的中心对准在样品台的预定位置处,并且光束与PSPD的中心在样品台的预定位置处的任何后续未对准被确定为由漂移引起并由扫描探针显微镜补偿。
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