| 扫描电子显微镜和样品观测方法。 |
| WOJP11002300 2011-4-20 发明申请 |
| 2011-11-10 |
| 一种扫描电子显微镜被其特征在于，在进行预充电的样品(100)，电子束被输入为该样品从多个入射的方向(403，404)，和所述预充电的辐射区域被划分成一个多个同心的环形区域(807，813)，和相对于每个的所述电子束被扫描的所述环-形区域。由于这减少了所述二次电子的数量到所述接触孔的壁面处被丢失，和能够获得关于所述的底段信息的所述接触孔，所述接触孔内带电的问题由于该倾斜时变得不均匀的预充电的所述的电子束，使观察困难的，具有成为解释。 |
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