| 扫描电子显微镜 |
| JP2010087812 2010-4-6 发明申请 |
| 2011-11-4 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜与高精度和低损伤，能够识别的一个一个有缺陷的部分中的帧，或具有高压缩比率的一个存储的图像，或使提取系统的缺陷。溶液 : 该扫描电子显微镜包括 : 一图案存在的确定部分1012确定存在一个图案与相对于一个单独的帧图像和子帧图像构成合成图像用于检查\/长度测量; 一放大倍率校正部1014; 一种失真校正部1018; 一图像合成部1015; 和一个存储单元1111在一视频压缩和存储在其中的那些图像形成。版权 : (C)2012，inpit |
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