| 扫描电子显微镜和控制方法及其用于提高噪声去除效果。 |
| KR1020100040210 2010-4-29 发明申请 |
| 2011-11-4 |
| 目的 : 一种扫描电子显微镜和一个控制聚焦电子通过其被设置以消除噪声的方法，其被加速由电子枪模块以一个样品。结构 : 一个电子枪模块(10)加速的电子设备。所述的电子枪模块被设置在所述上侧的所述壳体的内侧。一种电磁透镜模块(20)聚焦在所述电子设备，其为加速通过所述的电子枪模块以一个样品。一种检测器模块(30)检测二次电子，其被从所述样品产生的。一控制器(40)依次获取测量数据。该控制器控制所述的电子枪模块，所述的电磁透镜模块，和所述检测器模块，创建一个关于该样品测量图像。版权kipo2012 |
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