| 扫描电镜成像法 |
| US13098300 2011-4-29 发明申请 |
| 2011-11-3 |
| 一种使用扫描电子显微镜(SEM)调查样品的方法， 包括以下步骤 : 在多个(N)测量会话中使用探测电子束照射样品的表面， 每个测量会话具有从这样的值的范围中选择并且在测量会话之间不同的相关联的射束参数(P)值；在每个测量会话期间检测由样品发射的受激辐射， 将被测对象(M)与其相关联，并针对每个测量会话记录该被测对象的值，从而允许汇编数据对(Pi，Mi)的数据集(D)，其中1≤i≤n，其中 : 采用统计盲源分离(BSS)技术来自动处理数据集(D)并将其空间分解为成像对(Qk，Lk)的结果集(R)，其中具有值Qk的成像量(Q)与参考表面S的离散深度水平Lk相关联。 |
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