| 暗视野像差矫正电子显微镜 |
| TW100104492 2011-2-10 发明申请 |
| 2011-11-1 |
| 一种电子显微镜, 包括一电子束源(electron beam source)以产生一电子束。以电子束用光学元件(Beam optics)聚集该电子束。一像差矫正器(aberration corrector)至少矫正该电子束之球面像差(spherical aberration)。一位于该电子束路径上的一试片座(specimen holder), 用来设置一试片(specimen)。一侦测器用于侦测穿过该试片之电子束。该穿透式电子显微镜(transmission electron microscope)操作于暗视野(dark field)模式下, 其中第零阶电子束(zero beam)并不予以侦测。该穿透式电子显微镜并可操作在非同调照射(incoherent illumination)模式下。 |
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