| 扫描探针显微镜的方法，用于检测位移 |
| JP2011171265 2011-8-4 发明申请 |
| 2011-10-27 |
| 要解决的问题 : 以提供这样的一种位移检测方法，其增加量的光入射在一个光接收表面的一个传输中提高效率的光电检测器的光通过光路径上增加一个输出从一光源，从而减少了所述的散粒噪声或Johnson噪声比例来检测灵敏度。解决方案 : 一种光学位移检测机构9包括 : 一光源10，它照射一个测量对象6与光; 一光源驱动电路21，其驱动所述光源10; 一个光检测器16，构成通过一半导体，其接收所述的光与其中所述的光照射源10具有所述测量对象6，将该光变换成电气信号，和检测的光强度; 和一个放大器22包括一电流\/电压转换电路，它使一电流\/电压转换的信号检测到由所述光电检测器16在一定的增益。在这样的一种光学位移检测机构9，一光源10的光谱具有一种半宽度的10nm或更大是用于抑制所发生的方式跳频噪声或返回光噪声，即使当所述在2mW或更大的光源10被驱动。版权 : (C)2012，inpit |
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