| 压电微悬臂梁及其在原子力显微镜中的应用 |
| US13160304 2011-6-14 发明申请 |
| 2011-10-27 |
| 本发明涉及一种可在溶液中进行的用于静态接触和动态非接触原子力显微镜的压电微悬臂梁。 该压电微悬臂梁包括压电层和非压电层，能够进行自激励和检测。 压电层可以由铌镁酸铅-钛酸铅(Pb(Mg1/3Nb2/3)O3)0.65-(PbTiO3)0.35(PmN0.65-Pt0.35)(PmN-Pt)、锆钛酸盐(PZT)/SiO2或由任何无铅压电材料如掺杂的铌酸钠-铌酸钾-铌酸锂构成。 微悬臂梁的压电层介电常数在1600～3000之间，厚度在10μm以下。 还公开了用于制造微悬臂梁传感器的方法和使用微悬臂梁的原子力显微镜方法。 |
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