| 扫描探针显微镜和扫描方法，其 |
| JP2010076379 2010-3-29 发明申请 |
| 2011-10-20 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够测量的三-维形状与上没有限制形状。溶液 : 所述扫描探针显微镜包括一个悬臂11，一悬臂支架14，一个样品架8，一水平方向微动机构4用于移动一探针10相对一个任意的二维平面中的所述的表面上的一样品9，一垂直方向微动机构15用于移动所述探头10和样品9中相对所述方向垂直于所述二维平面，和一位移检测机构22用于检测所述悬臂的偏转量11。该位移检测机构是内建在该悬臂11。该悬臂11是这样排列，使得所述轴是正交于所述悬臂的一主轴线所述探头11和通过所述的尖端5月10日被存在于任意平面垂直于所述两维平面。对准机构(3，5，6，7，和17)被提供，它包含一个角度调整机构，其指定相对该样品9和该悬臂11的位置，使得一个测量该样品的表面的平面5月9日进入到被几乎平行于所述水平方向微动机构4的运动平面。版权 : (C)2012，inpit |
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