| 探针显微镜 |
| JP2011136430 2011-6-20 发明申请 |
| 2011-10-20 |
| 要解决的问题 : 提供一种简单的结构中的一探针显微镜小型化，并使用户观察一个测量对象W适当地。溶液 : 所述探针显微镜1是配备有 : 一悬臂2与一探针21; 一位移检测光学系统3; 一种观察光学系统4; 和物镜6aA。所述位移检测光学系统3是配备有一第一光源31和光检测元件35。所述观测光学系统4是配备有一第二光源41a，一成像透镜42，和摄像机43。第二将光中不同波长光源41a从第一光源31。所述物镜透镜6使所述悬臂的一点2具有相对于波长的光焦从第一光源31喷出，并且还使所述测量对象的一个点W焦与关于以一种波长的光从第二排出的光源4a1A的版权 : (C)2012，inpit |
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