| 化合物显微镜装置 |
| WOJP11058684 2011-4-6 发明申请 |
| 2011-10-13 |
| 本发明公开了一种化合物的显微镜装置(1),其被提供有一透射电子显微镜(2),和一光学显微镜(4)。所述的电子光学轴线(C)上的电子束,一个样品(10)和一反射镜(41)被设置,和所述反射镜被倾斜从所述的电子向一光学物镜的光学轴(43)和所述样品。光,如荧光的光,反射的光及该等,其是从所述样品产生的,被输入到该被反射的光通过物镜通过所述反射镜,和被检测由一个光检测部分(46)。所述电子束具有穿过该样品通过所述安装中心孔(42)的所述反射反射镜,和通过检测被检测部(30)。因此,该化合物的显微镜装置,其中所述相同的样品可观察到的在所述相同的时间通过所述透射电子显微镜和所述的光学显微镜,被提供。 |