| 图像采集待测物体的方法和系统用于使用共焦显微镜的结构 |
| WOKR11001767 2011-3-14 发明申请 |
| 2011-10-13 |
| 本发明涉及一种图像获取方法和使用共焦系统用于一待测物体显微镜的结构。根据本发明，所述用于所述待测量对象图像获取方法使用所述共焦显微镜结构，其中 : 光被从所述的上部产生一待测物体; 和图像是通过顺序地偏转和扫描获得的所述一个扫描区的XY平面上的光通过使用一个声光偏转器，包括所述的步骤 : 一个强度信息获取步骤，用于产生光通过显微镜的光源，输入所产生的光以一个扫描单元的光学路径，使得所产生的光被照射在该整个扫描区域，和获取和分析所述扫描的整个图像区域与一摄像机以获得所述的光强度的信息在每个扫描位置; 一个信息设置步骤，用于映射所获得的所述的光强度的信息在每个扫描位置到位置每个扫描位置的信息，和设置和存储该信息到和作为映射信息; 一个加载步骤，用于加载所述映射信息存储在所述信息设置步骤根据控制信号; 一个传输步骤，用于设定所述加载所述的基础上声强度信息的映射信息，和发送所述设定信息到该声光偏转器; 一扫描步骤，用于输出所述的光，其具有被输入和输出到和从该声光偏转器; 通过调整所述强度根据该声光强度的信息就作为所述的光具有被偏转，扫描和反射所述通过所述扫描单元输出的光在每个扫描位置，和输入所反射的光以所述扫描单元; 一用于检测记录步骤，通过一个光检测器，所述反射的光从每个扫描位置和输入到该扫描单元，和记录检测到的光检测信号; 一Z-轴扫描步骤，用于改变所述待测物体之间的距离和该扫描单元在一Z-轴方向以一定距离，在每个扫描位置和记录所述光检测信号在根据在所述距离的变化通过顺序地执行所述传输步骤，所述扫描步骤，和所述记录步骤，其中所述光检测信号在每个扫描中与所述变化位置在根据该距离被执行的至少一个时间; 和一个图像采集步骤，用于选择一个所述多个光学检测的信号在每个扫描的位置。检测通过所述Z-轴扫描步骤，和形成在每个扫描图像中的位置根据与所述声强度信息。以得到所述扫描的整个图像区域。因此，本发明提供了所述图像获取该待测物体的方法和系统用于使用所述共焦显微镜的结构，其中获得的图像是通过调整所述根据所述强度的所述扫描光的强度所述光检测从每个扫描位置，以匹配与图像的亮度差的差异造成的在检测信号，根据表面信息诸如反射率被改变，粗糙度，和反射角度或等在每个所述扫描区域的扫描位置，从而提高测量精度所扫描的区域。 |
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