| 显微镜系统，控制方法用于所述的显微镜系统，和程序用于控制方法。 |
| JP2010063152 2010-3-18 发明申请 |
| 2011-10-6 |
| 要解决的问题 : 一个物镜之间，以避免碰撞和一阶段，在一显微镜系统具有一个一般对象的透镜和阶段。溶液 : 所述的显微镜系统包括 : 所述级在XY方向移动; 所述物镜设置在下方的该级; 一存储装置，用于存储关于所述形状信息和所述级的尺寸和物镜透镜; 和用于施加一个控制装置控制，使得该阶段被移动时，所述范围，其中所述工作台可移动到所述物镜和所述级不接触所述物镜，计算与参考以所述存储装置中存储的信息，和所述的制造阶段是累积的移动通过重复该步骤一比较所述级之间的范围和所述位置到其已经移动通过一预定距离，和所述通过所述预定的距离移动所述级的步骤当该阶段不接触所述物镜，即使该阶段是通过移动所述预定距离，和使得当所述级触点所述物镜如果所述阶段是通过移动所述预定距离，该阶段是不移动。版权 : (C)2012，inpit |
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