| 干扰物镜和具有相同的显微镜装置 |
| JP2010066168 2010-3-23 发明申请 |
| 2011-10-6 |
| 要解决的问题 : 以提供一干扰物镜，其防止灰尘或等粘附到一参考一个图像平面中从被反射镜表面，和达到良好的测量，和一个具有所述相同的显微镜装置。溶液 : 所述干扰物镜透镜20具有一物镜透镜系统21，一种光路分离棱镜23设置在所述物镜系统之间的光学路径21和样品22，和一个参考反射镜24设置在一个分拆分光学路径通过所述光路分离棱镜23，和使从所述样品22反射的光设置在所述其它拆分光学路径通过所述光路分离棱镜23分裂以与反射的光干扰从所述参考镜24。所述参考镜24是一后表面反射镜与一反射膜24b上形成一背一透明基板的表面件24a。所述物镜透镜20具有一个光程差校正部件25校正差的光学路由通过所述的基板部件24a所述样品之间的所述后表面反射镜22和所述的光学路径分束棱镜23。版权 : (C)2012，inpit |
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