| 用于一个扫描探针显微镜探针组件 |
| WOGB11050646 2011-3-29 发明申请 |
| 2011-10-6 |
| 一探头组件(74,16),用于使用与一个扫描探针显微镜包括一个载体(74)支撑在至少两个探针(78a)安装在一倾斜载物台(16)设置成绕一轴线倾斜所述载体(23)。所述探针(78a)可以被分布在一个或多个(76a,76b)表面。在使用,所述倾斜载物台(16)操作或者作为一个选择装置,选择的探针或表面定向(76A)向一个样品(20),和\/或作为一个对准工具,调节探针的一个平面阵列(78),使得它们是更好的与所述样品对准(20)。这提供了该电位用于自动交换的探针,与增加的速度和精度,在显微镜的操作。 |