| 电子束照射的方法和扫描电子显微镜 |
| WOJP11000706 2011-2-9 发明申请 |
| 2011-10-6 |
| 本发明提供一种扫描电子显微镜，其中观测是通过预充料进行电子束(1003)到一个预充料区域(1101)的一个样品(1009)，和然后电子束照射到观察区域(1102)的所述样品; 和其中所述预充料区域被划分成多个的区域(1103)，和电子束的预充料条件(1003)。用于每个所述划分的区域被确定在所述的每个中包含的图案(a)的密度的基础所述划分的区域，和(b)包含的所述类型的材料形成该图案在每个所述划分的区域。在这种情况下，预充料条件被计算，以减轻所述差在所述分割区之间的带电所述预充料区域内。这使得能够缓和在所述样品内的带电不均匀的，即使当内的图案(a)的密度变化所述其中的预充料根据所述位置区域，和(b)多个不同的材料被包含在所述预充料区域。 |
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