要解决的问题 : 提供一种能够获得探头的温度特性校正或观察图像，通过精确测量的温度特性和具有凹凸的表面形状的样品的高纵横比在SPM。方法 : 探头为一种用于温度测量的同时探头1设有温度测量元件的尖端处该悬臂22和包括探头21作为温度测量元件和由第一探头基部(292)形成在杆形状，设置在上表面第一的端部291第一金属结构体29形成在悬臂22，形成在杆形状，设置在上表面第二的端部301的第二金属结构体30，和探针前端部(70)，其形成在杆第二上表面上的形状探头基部(302)和第一探头基部(292)和第二探头基部(302)经刃磨尖部设置在第第一探头基部(292)和第二探头基部(302)同时连接两部分，结合温度测量元件。'