| 电子显微镜 |
| KR1020117017078 2010-1-19 发明申请 |
| 2011-9-29 |
| 一个电子显微镜具有一个反射的反射电子检测器包括一电子检测器元件(9)，一种低真空二次电子探测器具有偏置电极(11)和一阶段(12)，和一个之间用于切换信号切换器(14)所述检测器所检测的信号。一种观测条件存储器(20)存储所述最佳用于每个检测器观察条件。响应于检测器的开关，一CPU(19)调用所述观测条件存储器中存储的所述的观察条件(20)和所述的电子显微镜组的所述状态以匹配所述被叫上观察条件。一种图像处理装置(22)将所述多个根据与检测器中获得的检测信号的切换成各自的两个三维图像信号和所述两个评估所述的图像质量的三维图像信号。一种图像质量优先模式中，所述CPU(19)开关以所述检测器与所述较高的评价值和显示该图像，基于该图像在所述的评价结果处理装置(22)。这种配置用于一具有多个检测器的电子显微镜促进所述选择的检测器最佳的观察条件和设定用于每个检测器。 |
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