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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

低漂移扫描探针显微镜

US13052901 2011-3-21 发明申请

2011-9-29

一种扫描探针显微镜，例如原子力显微镜，包括基本上不含Invar Z台和桥结构。包含探头的扫描器安装到Z台，Z台可在Z轴上移动以升高和降低探头。提供漂移补偿系统以减少Z级和电桥的热漂移。漂移补偿系统包括热耦合到Z级和桥接器的加热元件、环境温度传感器、以及主动控制加热元件以将桥接器和Z级保持在升高的温度的控制器。