| 白光干涉式显微镜 |
| EP11157547 2011-3-9 发明申请 |
| 2011-9-28 |
| 一个光-干扰测量装置包括 : 一光源的一宽带光; 一物镜透镜部与分支所述宽带光的光学路径为一参考光学路径包括一个参考反射镜和一个测量光路包括一测量对象，以输出一叠加的波两个分支的光; 和一光学路径长度改变部分改变参考光路径中的任一个所述的光学路径长度或所述测量的光学路径; 其中所述物镜部分包括一相位的差值控制部件，以控制一相之间的差所述参考光和所述物体的光以产生破坏性的干涉条纹在一位置零路径的所述参考光之间的差路径和所测量的光学路径，和一最小亮度位置检测部检测的最小亮度位置的所述破坏性干扰条纹。 |
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