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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

低漂移扫描探针显微镜

WOUS11029232 2011-3-21 发明申请

2011-9-22

一个扫描探针显微镜，例如一种原子力显微镜，包括一个Z-台和一个桥结构由基本上无因瓦合金的。一个扫描器包含一探头被安装到所述Z-台，其是可移动在所述Z-轴，以提高和下所述探针。一个漂移补偿系统被提供以减少热漂移所述的Z-台和所述桥。所述漂移补偿系统包括加热元件热耦合到所述Z-台和所述桥，环境温度传感器，以及一控制器，以主动控制所述加热元件，以保持所述桥和所述Z-台在一升高的温度。