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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

低漂移扫描探针显微镜

MYPI2012004141 2011-3-21 发明申请

2011-9-19

一种扫描探针显微镜，例如原子力显微镜，包括Z-级和基本上不含因瓦的桥结构。包含探针的扫描器安装在Z-台座上，该Z-台座可在Z-轴上移动以升高和降低探针。提供了一种漂移补偿系统，以减小Z级和桥的热漂移。漂移补偿系统包括热耦合到Z级和桥的加热元件，环境温度传感器和控制器，控制器主动控制加热元件以将桥和Z级保持在升高的温度。