| 共焦显微镜消除Z-轴扫描和方法用于检测一个聚焦 |
| KR1020100020597 2010-3-9 发明申请 |
| 2011-9-16 |
| 目的 : 一种用于消除一个光学轴共焦显微镜扫描过程和一个聚焦检测方法被提供以降低所需要的时间用于检测所述测量样品的焦点位置，从而降低3D形状恢复时间。结构 : 共焦显微镜(100)是由一光源(101)，第一的物镜(102)，第二的物镜(103); 一个第一分光束(104)，第二分光束(105)和第三分光束(106)，第一的光子检测器(111)，第二的光子检测器(112)，第三的光子检测器(113)，和一个处理单元(114)。一个第一的物镜会聚从该光源产生的光以一个第一的狭缝孔(107)。第一狭缝孔径，第二狭缝孔(108)，第三狭缝孔(109)，和第四狭缝孔(110)发送所述冷凝光第二的物镜会聚该光到一个测量样品。第一分束，第二分束; 和第三所述光分束改变所述的传播方向。第一光子检测器，第二的光子检测器，以及第三光子检测器改变光变换成电气信号和测量光强度，所述处理单元检测所述焦所述测量样品的位置。版权kipo2012 |
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