| 倒指数形状、高长-径比扫描隧道显微镜探针的制备工艺 |
| CN201110078164.2 2011-3-30 发明申请 |
| 2011-9-14 |
| 本发明公开了一种倒指数形状、高长-径比扫描隧道显微镜探针的制备工艺。该工艺用钨丝作为制备探针的材料，将钨丝浸没到碱性电解溶液中作为阳极，用耐腐蚀的铂金丝绕在钨丝周围作为阴极，相继采用直流和占空比可调的脉宽电压信号，确定钨丝段的浸没深度、电解电压大小、溶液浓度等，实时检测电解电流大小，当电解电流曲线斜率大于0.8mA/ms时，自动切断电压信号，停止电解过程。利用本发明工艺可制备呈倒指数型轮廓、针尖半径小于20nm，长-径比高于100 : 1的扫描隧道显微镜探针，使得扫描隧道显微镜具备了原子级的图像分辨率和测量高-深宽比微纳结构的能力。 |
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