| 电子显微镜的第二聚光镜 |
| CN201110077557.1 2011-3-29 发明申请 |
| 2011-9-14 |
| 本发明公开一种电子显微镜的第二聚光镜，属电子显微镜领域。包括：外壳为两端开口的圆环柱形空腔，下盖板盖住外壳的下端开口，磁环外面套装磁路线圈，两者均设置在外壳内，磁路线圈下面设有水套隔圈组件，水套隔圈组件下面为下盖板，下盖板、磁环、水套隔圈组件的中间部位均设有通孔，三者通孔相连通，连通后的通孔内从上至下依次设置垫圈和极靴组件；垫圈、极靴组件内均设有通孔，两者通孔相互连通，连通后的通孔内从上至下依次设置固定光阑组件和消象散组件。该第二聚光镜可将第一聚光镜缩小的电子枪交叉点的束斑进行适当放大，从而改变电子束斑的大小，实现针对不同样品可提供不同的束斑大小，提高电子显微镜的性能。 |
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