| 扫描电子显微镜和使用相同的检查方法 |
| WOJP11053440 2011-2-18 发明申请 |
| 2011-9-9 |
| 本发明提供一种高-分辨率扫描电子显微镜具有最小的像差，和配备有一电-光配置，它可以形成一个倾斜光束具有广角偏振和一期望的角度，而不干扰与一个电磁透镜。还提供一种使用所述相同的测量方法。在该扫描电子显微镜，一个电磁偏转装置(201)上方设置一个电磁透镜(207)，和一个控制电极(202)提供电子被加速或减速时，作为以重叠(在这种方式使所述具有相对于所述垂直方向的高度位置重叠)与所述的电磁偏转装置(201)。广泛的领域中的偏振，电极被加速，和倾斜光束中形成，电子被减速。 |
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