| 扫描电镜和半导体成像装置及其方法把图案器件的形状的配方 |
| JP2005174559 2005-6-15 发明授权 |
| 2011-9-7 |
| 在成像配方采用扫描电子显微镜生成装置，以创建用于SEM的观察成像的配方的半导体图案，为了测量成像配方的线宽和其它各种图案的尺寸值从观察图像，从而评估图案的形状在最小时间的自动生成分析使用所述CAD图像从CAD数据转换得到的，一种CAD图像创建单元创建的CAD图像通过转换CAD数据转换为图像格式包括图像量化宽度确定部，亮度信息提供部分，图案形状变形处理部; 使用CAD成像创建的配方而由所述CAD图像创建单元创建的图像。 |
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