| 扫描传输电子显微镜配备有能量滤波器 |
| JP2010035806 2010-2-22 发明申请 |
| 2011-9-1 |
| 要解决的问题 : 以防止能量中选择的波动范围和防止一个可视场的切割发生在一杆图像。溶液 : 该扫描传输电子显微镜扫描二维电子探针上薄薄地停止下一测试件和引入和检测所述散射电子以一种能量传输滤波器通过一个电子光学系统，并获得一电子显微镜图像。该能量滤波器是提供具有一能量选择由一对相对边缘的的狭缝，其被设置一能量色散表面上，并具有一装置以控制该电子光学系统，使得所述运动所述能量的选择上方向的狭缝所述频谱伴随该水平扫描该测试片上的所述的电子探针可以平行或正交于所述边缘中，不管观察中变化的条件，和一个装置到控制所述能量滤波器，从而，伴随该垂直或水平扫描的所述的电子探针，所述频谱可以被取消在所述的移动方向正交于所述边缘在所述能量选择狭缝。版权 : (C)2011，inpit |
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