| 透射电子显微镜 |
| US13036757 2011-2-28 发明申请 |
| 2011-9-1 |
| 一种透射电子显微镜,其中样品位于样品平面(9b)中,该透射电子显微镜包括物镜(11b), 具有多个透镜的第一投影透镜系统61b, 具有多个透镜的第二投影透镜63b系统, 将样品平面9b成像到中间像平面71中,将物镜11b的衍射平面15b成像到中间衍射平面67b中,并且或者a)将中间像平面成像到分析系统的入口像平面中并且将中间衍射平面成像到分析系统的入口光瞳平面中,或者b)将中间像平面71成像到入口光瞳平面65b中并且将中间衍射平面67b成像到入口像平面21b中。 |