| 扫描电子显微镜的光学条件设定方法和扫描电子显微镜 |
| WOJP11000704 2011-2-9 发明申请 |
| 2011-9-1 |
| 为了提供一种带电颗粒束装置的光学条件设定方法，其使所设定的一个光学条件可抑制该降低的测量和检查的精度由于所述一个电电荷的影响，即使当有许多测量点和检查点，和一带电粒子束的装置，提出的是扫描电子显微镜或光学条件设定方法用于测量一个样品上的图案在所述所检测的基础从所述样品发射的电子的扫描电子束的所述样品的表面上。在所述扫描电子显微镜或所述的光学条件设定方法，从在一个多个测量的测量值所述样品上的点，该测量值的变化具有相对于所述测量被发现的数量，以及该样品的表面是所述的电场控制，使得所述的倾斜所述变化是或接近零。 |
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