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用于光学应用的保护金属尖端或金属化扫描探针显微镜尖端

US12809720 2008-12-18 发明申请

2011-1-13

本发明一般涉及用于无孔径近场光学应用的受保护的金属或金属化扫描探针显微镜尖端，其包括金属尖端或覆盖扫描探针显微镜尖端的金属结构，由超薄介电层保护。在一个实施例中，保护层由SiOx，Al2O3或任何其它通过对整个结构提供机械，化学和热保护而延长尖端寿命的硬质超薄介电层组成。