| 防止划伤待测样品的扫描电镜安全防护装置 |
| CN201020248354.5 2010-6-25 实用新型 |
| 2011-1-12 |
| 本实用新型提供了一种防止划伤待测样品(晶圆)的扫描电镜安全防护装置，其设置于位于物镜下方的，用于将待测样品固定在特定位置的待测样品固定装置上；该安全防护装置包括：感应触头、探测模块和报警模块；所述感应触头，设置于待测样品固定装置的顶部；所述探测模块，用于探测所述感应触头与所述物镜之间的距离；所述报警模块，接收所述探测模块探测到的距离值，对低于预设值的距离值进行报警，防止划伤待测样品。本实用新型的安全防护装置利用感应触头、探测模块和报警模块的相互配合，避免了物镜与待测样品距离过近，进而做到了防止物镜与待测样品相互摩擦，避免造成样品损伤。 |
微信公众号