| 扫描电子显微镜，和在扫描电子显微镜图像显示方法 |
| JP2009117148 2009-5-14 发明申请 |
| 2010-11-25 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜能够容易地获得的三个所述的表面上的三维形状一测试件，同时防止所述装置的成本增加和大尺寸。溶液 : 在所述扫描电子显微镜，一测试件是由一物镜透镜会聚电子束的扫描，和一第一通过检测图像被形成从所述测试件和然后产生一个信号，它被显示在一显示装置的一屏幕; 所述物镜的变化的磁激励后，该电子束被会聚和所述测试件被扫描; 和一第二产生的图像是通过检测形成所述信号从所述测试件和被显示在所述所述显示装置的屏幕; 然后，一个控制电极上施加一个电压被调整，使得所述焦点第二的图像所述的屏幕上显示该显示装置可以被校正，和然后，该电子束被会聚到扫描该测试片，和通过检测所产生的信号从所述测试件，一个第三的图像被形成和显示所述屏幕上所显示的装置。版权 : (C)2011，inpit |
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