| 具有相同的样品输送机构和扫描电子显微镜 |
| JP2008324894 2008-12-22 发明申请 |
| 2010-7-1 |
| 要解决的问题 : 以提供一样品输送机构能够去除异物的样品上粘贴在该样品的运送，并提供一种扫描电子显微镜具有所述样品输送机构。溶液 : 在所述样品输送机构具有一个样品输送手用于支撑所述样品从其背面作为一个实施例中，所述样品输送机构包括一个抽吸机构用于吸取和保持所述样品，吸附机构用于吸附气体到所述样品在所述吸入样品之间形成一封闭空间和所述样品输送手，以及一抽吸机构用于抽吸气体所述封闭空间中。进一步，所述的异物被收集的异物去除机构设置在所述制备的样品输送手一种扫描电子显微镜体和所述样品盒之间，从而不使所产生的异物在该扫描电子显微镜到一样品盒或所述等。版权 : (C)2010，inpit |
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