| 能量分析器，2维显示式光学显微镜分析仪 |
| JP2009505171 2008-3-13 发明申请 |
| 2010-7-1 |
| 可以提供一种能量分析器，一种2维显示类型的能量分析器，和光电子显微镜能够进行能量分析具有结构简单，成本低。所述能量分析器(1)选择的路径能量束从一电子或离子束(在下文中，简单地称为)发出的光束的预定对象的表面具有一定开启角度位置。能量分析器，包括 : 一种广角电子透镜(2)，用于获取所述光束，并将所述梁上；第第一孔(3)，设置在所述电子透镜的广角发射口(2)和具有通孔设置在同一位置为具有预定能量在光束会聚点会聚。 |
微信公众号