| 电子显微镜装置 |
| US12653324 2009-12-11 发明申请 |
| 2010-7-1 |
| 本发明提供一种电子显微镜装置1， 包括扫描电子显微镜2和光学显微镜3， 其中扫描电子显微镜具有用于扫描电子束的扫描装置10和用于检测由电子束扫描的样品8发出的电子的电子检测器12， 扫描电子显微镜基于来自电子检测器的检测结果获取扫描电子图像， 其中光学显微镜将照明光投射到样品上， 接收来自样品的反射光并获取光学图像， 并且其中扫描电子显微镜的光轴7在样品的观察点处与光学显微镜的光轴6交叉，其中扫描装置以比扫描区域的宽度宽的扫描宽度投射用于扫描的电子束，光学显微镜投射照明光并在电子束投射到扫描区域之外的溢出部分中获取光学图像，并且扫描电子显微镜基于当电子束扫描到扫描区域之上时发出的电子来获取扫描电子图像。 |
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