| 电子显微镜装置 |
| US12653366 2009-12-11 发明申请 |
| 2010-7-1 |
| 本发明提供一种电子显微镜装置， 包括具有扫描电子束的扫描装置(10)的扫描电子显微镜(2)和用于检测从样品(8)发出的电子(11)的电子检测器(12)，在样品(8)中投射电子束用于扫描， 其中，基于来自电子检测器的检测结果获取扫描电子图像，其中，电子检测器包括用于执行光电转换的荧光物质层，对来自荧光物质层的荧光的所有或几乎所有波长范围进行限制的波长滤波器，以及用于接收通过波长滤波器透射的荧光并执行光电转换的波长检测元件。 |
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