| 一种可测量悬垂结构样品的扫描探针显微镜 |
| US12705301 2010-2-12 发明申请 |
| 2010-7-1 |
| 一种扫描探针显微镜，使用使Z扫描器的扫描方向相对于样品平面旋转的可移动组件，以精确的量和高的可重复性倾斜Z扫描器的扫描方向。 可动组件通过齿条和小齿轮驱动系统沿着弯曲导向件移动，并且具有与形成在固定框架上的相应陶瓷球接合的凹槽，以将可动组件精确地定位在沿着弯曲导向件的预定位置处。 凹槽通过弹簧力压靠在陶瓷球上，并且在可移动组件移动之前，施加气动力以克服弹簧力并使凹槽与陶瓷球脱开。 |
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