| 用于测量图案的方法使用扫描电子显微镜 |
| JP2008257728 2008-10-2 发明申请 |
| 2010-4-15 |
| 要解决的问题 : 以除去的一种图案的模糊提供一种方法由SEM获取的图像和容易和准确地测量所述三个三维形状的图案的一基于样品表面上的信息的所述高度通过获取一图案的另一方向测量机，例如AFM。溶液 : 一会聚的电子束是辐射到所述样品表面的一个图案，以扫描它，一获取SEM图像，二次的发生效率的电子所述图案是通过去卷积计算出的操作基于所创建的所述SEM图像的对比度的形状从所述SEM图像和所述的所述主电子束强度分布，所述二次电子的发生效率进行比较和对照与每个其它所述二次使用所述的发生效率所述图案的预测基于该信息的电子该深度方向预先通过测量所获得的所述图案与一扫描探针显微镜的形状，和所述三-维所述图案的形状被确定。版权 : (C)2010，inpit |
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