显微镜具有等离子体的表面具有高-分辨率与径向偏振干涉仪中的外差式接收机。
 
FR07059716  2007-12-11  发明申请

2009-6-12
 
  本发明涉及一种显微镜与等离子体的表面与具有高分辨率扫描包括一个源的(lg)相干光,和一种介质的耦合和容纳一表面的等离子体激元的包括物镜(0,OM)与大的数值开口,一个与浸油(Hi)和一板的玻璃(Gs)。一金属层(ms)恢复的所述板的表面玻璃(Gs)。该显微镜还包括一个干涉仪的外差式接收机中的特怀曼-绿光的模式是所述源极之间放置和所述介质的耦合,以及作为吹扫(PL1的装置,PL2,EC。)的所述金属层使用的一束光,和该光束从所述干涉仪的检测(pd)的装置连接到装置的处理(s,f,dtec,COMP)和从这个光束形成的一个图像开始的。在根据本发明,在径向中的至少一个线性极化转换器的所述光束的偏振(CP)通过所述源发出的光L的光的光(LG)之间的布置是所述源和所述干涉仪。
 
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