| 集成探测器的电子显微镜 |
| US12735499 2010-5-14 发明申请 |
| 2011-8-25 |
| 一种电子显微镜，包括 : 真空室，用于容纳待分析样品；光学柱，包括电子源和最终探针形成透镜，用于聚焦从所述电子源发射的电子；样品台，位于所述真空室中的所述探针形成透镜下方，用于保持所述样品；以及X射线检测器，位于所述真空室内。 X射线检测器包括X射线敏感固态传感器和用于支撑和定位包括传感器在内的检测器在真空室内的机械支撑系统。 整个机械支撑系统包含在真空室内。 多个不同类型的检测器可被支撑在机械支撑系统上的真空室内。 机械支撑系统还可包括至少一个热电冷却器元件，用于对X射线传感器进行热电冷却。 |
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